(1)抽氣速率:真空泵的抽氣速率也呌生産能力，在一定(ding)溫(wen)度下，真空泵在單位時間(jian)內能從設備內抽走氣體的體積，單位m³/S或m3/h錶示(shi)。
(2)殘餘壓力:也呌極限(xian)真空即真空泵能達到穩定狀態(tai)下的最低壓力，單位“Torr”或%錶示。1Torr=1/760atm=133.3Pa。
(3)抽氣量:在一定溫(wen)度下，真空泵在單位時間內能從設備(bei)內抽走指定氣體量呌抽氣量，單位(wei)m3/h。
(4)起動壓力:真空泵開始工作時的壓力。
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